阿斯麥與imec簽署備忘錄 共同開(kāi)發(fā)最先進(jìn)high-NA EUV微影試驗(yàn)制程
- 發(fā)表于: 2023-06-29 22:06:11 來(lái)源：中鋼網(wǎng)
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【阿斯麥與imec簽署備忘錄 共同開(kāi)發(fā)最先進(jìn)high-NA EUV微影試驗(yàn)制程】據(jù)科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)，比利時(shí)微電子研究中心(imec)與阿斯麥(ASML)今日宣布，雙方已簽署備忘錄加強(qiáng)合作，共同開(kāi)發(fā)最先進(jìn)high-NA極紫外光(EUV)微影試驗(yàn)制程。雙方指出，該試驗(yàn)制程的目標(biāo)是協(xié)助采用半導(dǎo)體技術(shù)的所有產(chǎn)業(yè)，并提供一套能在未來(lái)支援創(chuàng)新的原型設(shè)計(jì)平臺(tái)。
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